[LT] Išradimas priklauso dujų jutikliams ir gali būti panaudotas aplinkos dujų koncentracijos nustatymui. Dujų jutiklis sudarytas iš akyto silicio padėklo (1) su izoliuojančiu SiO2 sluoksniu, ant kurio suformuotos dujoms jautrios CuxS dangos (2), ir ant jų užlydyti planariniai metalo kontaktai (3). Dujų koncentracija nustatoma prie kontaktų pritvirtinus elektrinius įvadus ir išmatavus varžos pokytį.
[EN] The invention relates to gas - discharge transducer and can be used for measuring gas concentration in environment. A gas - discharge transducer comprises a basis from porous silicon (1) with insulating SiO2 layer, on which are disposed sensitive to gas CuxS coatings (2). Planetary metal contacts (3) are melted on coatings (2). The concentration of the gas is measured by fixing change of the reactance.
[0001] Išradimas priklauso dujų jutiklių sukūrimo sričiai ir gali būti
[0002] Žinomas rezistyvinis dujų jutiklis, sudarytas iš izoliuojančio padėklo, kontaktų ir puslaidininkinio organinio polimero, kurio elektrinės savybės priklauso nuo aplinkos dujų mišinio sudėties ir koncentracijos ( žiūr. JAV patentą Nr.4887455, TPK G01N27/02,1989).
[0003] Jo trūkumas tas, kad, naudojant šį dujų jutiklį, matavimai yra sudėtingi, reikalingas kintamasis elektrinis laukas, kadangi polimerų varža yra labai didelė. Jutiklis yra nestabilus laike.
[0004] Artimiausi siūlomam sprendimui yra dujų jutikliai, sudaryti iš dujoms jautraus sluoksnio, izoliuojančio padėklo, kontaktų ir kaitinimo elemento. Dujoms jautrūs sluoksniai yra įvairių metalų oksidai ( žiūr. Didž. Britanijos patentąNr.2166247, TPK G01N27/12, 1986).
[0005] Tokių jutiklių trūkumas tas, kad jie dirba aukštose temperatūrose (200-500°C), yra neekonomiški.
[0006] v Siūlomo išradimo tikslas - pažeminti darbo temperatūrą iki kambario temperatūros ir supaprastinti matavimus kambario (aplinkos) temperatūroje, panaudojant akyto silicio padėklą su vario sulfido dangomis.
[0007] Tikslas pasiekiamas tuo, kad rezistyvinis dujų jutiklis susideda iš izoliuojančio akyto silicio padėklo su izoliuojančiu S1O2 sluoksniu, dujoms jautraus sluoksnio ir planarinių metalo (pavyzdžiui, vario ) kontaktų. Dujoms jautrus elementas yra akyto silicio padėklas su elektrai laidžiomis dangomis. Kaip elektrai laidžios dangos ant akyto silicio padėklo yra suformuoti vario sulfido sluoksniai. Matuojamas dujoms jautraus elemento elektrinio laidumo pastoviai srovei pokytis, indukuotas tiriamų aplinkos dujų. Čia panaudojama iki šiol nežinoma vario sulfido dangų ant akyto silicio savybė - jautris dujoms kambario temperatūroje.
[0008] Išradimas iliustruojamas brėžiniu: fig.l - principinė rezistyvinio dujų jutiklio struktūrinė schema.
[0009] Dujų jutiklis sudarytas iš akyto silicio su izoliuojančiu S1O2 sluoksniu padėklo 1, ant kurio suformuotos dujoms jautrios CuxS dangos 2, ir ant jų užlydyti planariniai metalo kontaktai 3.
[0010] Dujų koncentracija nustatoma prie kontaktų pritvirtinus elektrinius įvadus ir išmatavus varžos pokytį.
[0011] Siūlomas išradimas, palyginus jį su žinomu, pasižymi šiais privalumais: - leidžia žymiai sumažinti dujų jutiklių darbo temperatūrą (200-500°C iki kambario temperatūros), - paprastas (nesudėtingas) elektrai laidžių vario sulfidų dangų gavimo būdas,
[0012] - naudojamos medžiagos yra nedeficitinės ir pigios.
1. Dujų jutiklis, susidedantis iš izoliuojančio padėklo, dujoms jautraus sluoksnio ir kontaktų, besiskiriantis tuo, kad dujoms jautrus elementas yra akyto silicio su izoliuojančiu S1O2 sluoksniu padėklas su elektrai laidžiomis dangomis.
2. Dujų jutiklis pagal 1 punktą, besiskiriantis tuo, kad kaip elektrai laidžios dangos ant akyto silicio yra suformuoti vario sulfido sluoksniai.