|
|
|
|
|
Legal status
Patent lapsed (non-payment of fees)
| (51) | INT.CL.: (2020.01) |
H01L 21/00 H01L 31/00 |
| (11) | Number of the document | 6691 |
| (13) | Kind of document | B |
| (21) | Application number | 2018 524 |
| (22) | Date of filing the application | 2018-06-13 |
| (41) | Date of publication of the application | 2019-12-27 |
| (45) | Date of publication of patent | 2020-01-27 |
| (71) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, LT-02300 Vilnius,
LT
|
| (72) |
Algirdas SUŽIEDĖLIS, LT
Steponas AŠMONTAS, LT Jonas GRADAUSKAS, LT Angelė STEIKŪNIENĖ, LT Gytis STEIKŪNAS, LT Maksimas ANBINDERIS, LT |
| (73) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, LT-02300 Vilnius,
LT
|
| (74) |
Virgina Adolfina DRAUGELIENĖ,
UAB TARPINĖ, A.P.Kavoliuko g. 24-152, LT-04328 Vilnius,
LT
|
| (54) | SENSOR FOR ELECTROMAGNETIC RADIATION OF MICROWAVE AND TERAHERTZ FREQUENCIES |
| Patent lapsed (non-payment of fees) | ||
| Invalidation date | 2020-06-13 |