|
|
|
|
|
Legal status
Patent in force
| (51) | INT.CL.: (2021.01) |
H01L 31/00 |
| (11) | Number of the document | 6836 |
| (13) | Kind of document | B |
| (21) | Application number | 2019 085 |
| (22) | Date of filing the application | 2019-12-17 |
| (41) | Date of publication of the application | 2021-06-25 |
| (45) | Date of publication of patent | 2021-08-10 |
| (71) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, LT-02300 Vilnius,
LT
|
| (72) |
Steponas AŠMONTAS, LT
Jonas GRADAUSKAS, LT Konstantinas LEINARTAS, LT Laurynas STAIŠIŪNAS, LT Algirdas SUŽIEDĖLIS, LT Aldis ŠILĖNAS, LT |
| (73) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, LT-02300 Vilnius,
LT
|
| (74) |
Virgina Adolfina DRAUGELIENĖ,
UAB TARPINĖ, A.P.Kavoliuko g. 24-152, LT-04328 Vilnius,
LT
|
| (54) | LOW CONTACT RESISTIVITY DEVICE AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF |
| Payment date | Validity (years) | Amount | |
| 2025-10-20 | 7 | 162.00 EUR |
| 2026-12-17 |