|
|
|
|
|
Legal status
Patent lapsed (non-payment of fees)
| (51) | INT.CL.: (2021.01) |
G01N 21/00 |
| (11) | Number of the document | 6873 |
| (13) | Kind of document | B |
| (21) | Application number | 2020 520 |
| (22) | Date of filing the application | 2020-04-14 |
| (41) | Date of publication of the application | 2021-11-10 |
| (45) | Date of publication of patent | 2021-11-25 |
| (71) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, LT-02300 Vilnius,
LT
|
| (72) |
Evaldas STANKEVIČIUS, LT
|
| (73) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, LT-02300 Vilnius,
LT
|
| (74) |
Virgina Adolfina DRAUGELIENĖ,
UAB TARPINĖ, A.P.Kavoliuko g. 24-152, LT-04328 Vilnius,
LT
|
| (54) | METHOD OF NANO/MICRO BUMPS FORMATION IN THE METAL FILM |
| Patent lapsed (non-payment of fees) | ||
| Invalidation date | 2022-04-14 |