|
|
|
|
|
Teisinis statusas
Patentas panaikintas (nesumokėtas metų mokestis)
| (51) | INT.CL.: (2006.01) |
H01L 21/02 |
| (11) | Patento numeris | 2406 |
| (13) | Dokumento rūšis | B |
| (21) | Paraiškos numeris | RP1221 |
| (22) | Paraiškos padavimo data | 1993-09-28 |
| (41) | Paraiškos paskelbimo data | |
| (45) | Patento paskelbimo data | 1994-02-15 |
| (86) | Numeris | 1189289 |
| Data | 1984-04-28 |
| (71) |
Valstybinė mikroelektronikos įmonė "Venta",
Ateities g. 10, 2057 Vilnius,
LT
|
| (72) |
Marija TEBERAITĖ, LT
Vadimas AMSTIBOVSKIS, LT Jonas SESICKAS, LT |
| (73) |
Valstybinė mikroelektronikos įmonė "Venta",
Ateities g. 10, 2057 Vilnius,
LT
|
| (74) |
| (54) | Ėsdiklis kontaktinių sričių atnaujinimui prieš metalizaciją didelių integralinių schemų gamyboje |
| Mokėjimo data | Galiojimo metai | Suma | |
| 1995-09-27 | 5 | 39.00 LTL |
| Patentas panaikintas (nesumokėtas metų mokestis) | ||
| Patento panaikinimo data | 1996-09-28 |