Herbas VPB

Print
EN | LT
LT - Ėsdiklis kontaktinių sričių atnaujinimui prieš metalizaciją didelių integralinių schemų gamyboje
EN -

Legal status

Patent lapsed (non-payment of fees)

Bibliographic data
Indications of the International Patent Classification (IPC)
(51) INT.CL.: (2006.01) H01L 21/02
Patent
(11) Number of the document 2406
(13) Kind of document B
(21) Application number RP1221
(22) Date of filing the application 1993-09-28
(41) Date of publication of the application
(45) Date of publication of patent 1994-02-15
PCT application
(86) Number 1189289
Date 1984-04-28
Applicant
(71) Valstybinė mikroelektronikos įmonė "Venta", Ateities g. 10, 2057 Vilnius, LT
Inventors
(72) Marija TEBERAITĖ, LT
Vadimas AMSTIBOVSKIS, LT
Jonas SESICKAS, LT
Grantee
(73) Valstybinė mikroelektronikos įmonė "Venta", Ateities g. 10, 2057 Vilnius, LT
Attorney or representative
(74)
Title
(54)
Last renewal fee
Payment date Validity (years) Amount
1995-09-27 5 39.00 LTL
Legal status
Patent lapsed (non-payment of fees)
Invalidation date 1996-09-28