|
|
Legal status
Patent lapsed (non-payment of fees)
| (51) | INT.CL.: (2006.01) |
H01L 21/66 H01L 21/66 |
| (11) | Number of the document | 2477 |
| (13) | Kind of document | B |
| (21) | Application number | RP1314 |
| (22) | Date of filing the application | 1993-09-29 |
| (41) | Date of publication of the application | |
| (45) | Date of publication of patent | 1994-02-15 |
| (86) | Number | 1294230 |
| Date | 1985-07-17 |
| (71) |
Kauno technologijos universitetas,
K. Donelaičio g. 73, 3006 Kaunas,
LT
Sigitas JONELIŪNAS, Žaibo g. 37-1, 3029 Kaunas, LT Liudvikas PRANEVIČIUS, Partizanų g. 228-4, 3041 Kaunas, LT Arminas RAGAUSKAS, Saulės g. 39-10, 3031 Kaunas, LT |
| (72) |
Liudvikas PRANEVIČIUS, LT
Sigitas JONELIŪNAS, LT Arminas RAGAUSKAS, LT |
| (73) |
Kauno technologijos universitetas,
K. Donelaičio g. 73, 3006 Kaunas,
LT
Sigitas JONELIŪNAS, Žaibo g. 37-1, 3029 Kaunas, LT Liudvikas PRANEVIČIUS, Partizanų g. 228-4, 3041 Kaunas, LT Arminas RAGAUSKAS, Saulės g. 39-10, 3031 Kaunas, LT |
| (74) |
Aurelija ŠIDLAUSKIENĖ,
Dr. V. Šidlauskas ir partneriai, UAB, K. Būgos g. 29, LT-44326 Kaunas,
LT
|
| (54) |
| Payment date | Validity (years) | Amount | |
| 1997-09-29 | 7 | 61.00 LTL |
| Patent lapsed (non-payment of fees) | ||
| Invalidation date | 1998-09-29 |