|
|
|
|
|
Teisinis statusas
Patentas panaikintas (nesumokėtas metų mokestis)
| (51) | INT.CL.: (2011.01) |
G01N 27/00 |
| (11) | Patento numeris | 5900 |
| (13) | Dokumento rūšis | B |
| (21) | Paraiškos numeris | 2011 057 |
| (22) | Paraiškos padavimo data | 2011-06-16 |
| (41) | Paraiškos paskelbimo data | 2012-12-27 |
| (45) | Patento paskelbimo data | 2013-02-25 |
| (71) |
UAB "Precizika - MET SC",
Žirmūnų g. 139, LT-09120 Vilnius,
LT
|
| (72) |
Julius JANUŠONIS, LT
Valdemaras JUZUMAS, LT Vida JANUŠONIENĖ, LT Lina JARAMINĖ, LT |
| (73) |
UAB "Precizika - MET SC",
Žirmūnų g. 139, LT-09120 Vilnius,
LT
|
| (74) |
Reda ŽABOLIENĖ,
METIDA, Verslo centras "VERTAS", Gynėjų g. 16, LT-01109 Vilnius,
LT
|
| (54) | Būdas nuimti SIxNy ploną sluoksnį nuo SI paviršiaus nepažeidžiant p/n legiruoto Si sluoksnio |
| Mokėjimo data | Galiojimo metai | Suma | |
| 2013-05-13 | 3 | 280.00 LTL |
| Patentas panaikintas (nesumokėtas metų mokestis) | ||
| Patento panaikinimo data | 2014-06-16 |