|
|
|
|
|
Teisinis statusas
Patentas panaikintas (nesumokėtas metų mokestis)
| (51) | INT.CL.: (2014.01) |
H01L 21/00 |
| (11) | Patento numeris | 6047 |
| (13) | Dokumento rūšis | B |
| (21) | Paraiškos numeris | 2012 094 |
| (22) | Paraiškos padavimo data | 2012-10-18 |
| (41) | Paraiškos paskelbimo data | 2014-04-25 |
| (45) | Patento paskelbimo data | 2014-06-25 |
| (71) |
VILNIAUS UNIVERSITETAS,
Universiteto g. 3, LT-01513 Vilnius,
LT
|
| (72) |
Arvydas Juozapas JANAVIČIUS, LT
Vitalij BALANDIN, LT Mindaugas VILIŪNAS, LT Saulius BALAKAUSKAS, LT Romaldas PURLYS, LT Andrius POŠKUS, LT |
| (73) |
VILNIAUS UNIVERSITETAS,
Universiteto g. 3, LT-01513 Vilnius,
LT
|
| (74) |
Jurga PETNIŪNAITĖ,
AAA Law, A. Goštauto g. 40B, Verslo centras "Dvyniai", LT-03163 Vilnius,
LT
|
| (54) | Naujas defektų formavimo būdas naudojant rentgeno spinduliuotę ir elektrinį lauką ir jo panaudojimas |
| Mokėjimo data | Galiojimo metai | Suma | |
| 2020-10-19 | 9 | 208.00 EUR |
| Patentas panaikintas (nesumokėtas metų mokestis) | ||
| Patento panaikinimo data | 2021-10-18 |