|
|
|
|
|
Legal status
Application deemed to be withdrawn
| (51) | INT.CL.: (2020.01) |
H01L 21/00 H01L 31/00 |
| (11) | Number of the document | |
| (13) | Kind of document | A |
| (21) | Application number | 2018 547 |
| (22) | Date of filing the application | 2018-11-07 |
| (41) | Date of publication of the application | 2020-05-11 |
| (45) | Date of publication of patent |
| (71) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, LT-02300 Vilnius,
LT
|
| (72) |
Algirdas SUŽIEDĖLIS, LT
Steponas AŠMONTAS, LT Jonas GRADAUSKAS, LT Angelė STEIKŪNIENĖ, LT Maksimas ANBINDERIS, LT Gytis Julius STEIKŪNAS, LT |
| (73) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, LT-02300 Vilnius,
LT
|
| (74) |
Virgina Adolfina DRAUGELIENĖ,
UAB TARPINĖ, A.P.Kavoliuko g. 24-152, LT-04328 Vilnius,
LT
|
| (54) | SENSOR FOR ELECTROMAGNETIC RADIATION OF MICROWAVE AND TERAHERTZ FREQUENCIES |