|
|
|
|
|
Teisinis statusas
Paraiška laikoma atšaukta
| (51) | INT.CL.: (2020.01) |
H01L 21/00 H01L 31/00 |
| (11) | Patento numeris | |
| (13) | Dokumento rūšis | A |
| (21) | Paraiškos numeris | 2018 547 |
| (22) | Paraiškos padavimo data | 2018-11-07 |
| (41) | Paraiškos paskelbimo data | 2020-05-11 |
| (45) | Patento paskelbimo data |
| (71) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, LT-02300 Vilnius,
LT
|
| (72) |
Algirdas SUŽIEDĖLIS, LT
Steponas AŠMONTAS, LT Jonas GRADAUSKAS, LT Angelė STEIKŪNIENĖ, LT Maksimas ANBINDERIS, LT Gytis Julius STEIKŪNAS, LT |
| (73) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, LT-02300 Vilnius,
LT
|
| (74) |
Virgina Adolfina DRAUGELIENĖ,
UAB TARPINĖ, A.P.Kavoliuko g. 24-152, LT-04328 Vilnius,
LT
|
| (54) | Mikrobangų ir terahercų dažnių spinduliuotės jutiklis |