|
|
|
|
|
Legal status
Patent in force
| (51) | INT.CL.: (2022.01) |
G03F 7/00 |
| (11) | Number of the document | 6888 |
| (13) | Kind of document | B |
| (21) | Application number | 2020 535 |
| (22) | Date of filing the application | 2020-07-08 |
| (41) | Date of publication of the application | 2022-01-10 |
| (45) | Date of publication of patent | 2022-01-25 |
| (71) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, LT-02300 Vilnius,
LT
|
| (72) |
Natalia ALEXEEVA, LT
Irmantas KAŠALYNAS, LT |
| (73) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, LT-02300 Vilnius,
LT
|
| (74) |
Virgina Adolfina DRAUGELIENĖ,
UAB TARPINĖ, A.P.Kavoliuko g. 24-152, LT-04328 Vilnius,
LT
|
| (54) | METHOD OF POLIMETHYLMETHACRYLATE (PMMA) REMOVAL FROM GRAPHENE SURFACE BY PHOTOEXPOSURE |
| Payment date | Validity (years) | Amount | |
| 2025-06-11 | 6 | 139.00 EUR |
| 2026-07-08 |