|
|
|
|
|
Teisinis statusas
Paskelbta paraiška
| (51) | INT.CL.: (2026.01) |
C23C 14/00 |
| (11) | Patento numeris | |
| (13) | Dokumento rūšis | A |
| (21) | Paraiškos numeris | 2024 528 |
| (22) | Paraiškos padavimo data | 2024-07-19 |
| (41) | Paraiškos paskelbimo data | 2026-01-26 |
| (45) | Patento paskelbimo data |
| (71) |
I-Photonics UAB,
Parko g. 3, Avižienių k., LT-14198, Vilniaus raj.,
LT
|
| (72) |
Khakhlou YAUHEN, LT
Aliaksandr MYSLIVETS, LT Rabatuyev HENADZ, TW |
| (73) |
I-Photonics UAB,
Parko g. 3, Avižienių k., LT-14198, Vilniaus raj.,
LT
|
| (74) |
Reda ŽABOLIENĖ,
METIDA, Verslo centras "VERTAS", Gynėjų g. 16, LT-01109 Vilnius,
LT
|
| (54) | Vakuuminis įrenginys ir daugiasluoksnių plonasluoksnių tiksliųjų optinių dangų gamybos būdas |