|
|
|
|
|
Teisinis statusas
Patento galiojimo terminas pasibaigęs
| (51) | INT.CL.: (2006.01) |
H01L 21/66 H01L 21/66 |
| (11) | Patento numeris | 2483 |
| (13) | Dokumento rūšis | B |
| (21) | Paraiškos numeris | RP1350 |
| (22) | Paraiškos padavimo data | 1993-09-30 |
| (41) | Paraiškos paskelbimo data | |
| (45) | Patento paskelbimo data | 1994-02-15 |
| (86) | Numeris | 1098465 |
| Data | 1983-01-17 |
| (71) |
Liudvikas PRANEVIČIUS,
Partizanų g. 228-4, 3041 Kaunas,
LT
Arminas RAGAUSKAS, Saulės g. 39-10, 3031 Kaunas, LT Diana ADLIENĖ, Taikos pr. 62-72, 3031 Kaunas, LT |
| (72) |
Liudvikas PRANEVIČIUS, LT
Arminas RAGAUSKAS, LT Diana ADLIENĖ, LT |
| (73) |
Liudvikas PRANEVIČIUS,
Partizanų g. 228-4, 3041 Kaunas,
LT
Arminas RAGAUSKAS, Saulės g. 39-10, 3031 Kaunas, LT Diana ADLIENĖ, Taikos pr. 62-72, 3031 Kaunas, LT |
| (74) |
| (54) | Burbulų susidarymo kritinės dozės matavimo būdas |
| Mokėjimo data | Galiojimo metai | Suma | |
| 1997-09-25 | 7 | 61.00 LTL |
| 2000-09-30 |
| Patento galiojimo terminas pasibaigęs | ||
| Patento panaikinimo data | 1998-01-17 |