LT - STAGE DRIVE METHOD AND STAGE DRIVE APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE PRODUCING METHOD
EN - STAGE DRIVE METHOD AND STAGE DRIVE APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE PRODUCING METHOD
Teisinis statusas
Patentas neįsigaliojo (pagal EPK)
Bibliografiniai duomenys
Tarptautinės patentų klasifikacijos indeksai (TPK)
| (51) |
INT.CL. |
H01L 21/027 |
|
|
|
G03F 7/20 |
|
Europos patentas
| (11) |
Patento numeris |
1713113 |
| (13) |
Dokumento rūšis |
T |
| (96) |
Europos patento paraiškos numeris |
05704182.4 |
|
Europos patento paraiškos padavimo data |
2005-01-27 |
| (97) |
Europos patento paraiškos paskelbimo data |
2006-10-18 |
| (45) |
Paskelbimo apie Europos patento išdavimą data |
2010-12-29
|
| (46) |
Apibrėžties vertimo paskelbimo data |
|
Tarptautinės paraiškos padavimo
| (86) |
Numeris |
PCT/JP2005/001076 |
|
Data |
2005-01-27 |
Tarptautinės paraiškos paskelbimo
| (87) |
Numeris |
WO 2005/074014 |
|
Data |
2005-08-11 |
Prioriteto paraiškos
| (30) |
Numeris |
Data |
Šalis |
|
2004025837 |
2004-02-02
|
JP |
|
2004300566 |
2004-10-14
|
JP |
Išradėjai
| (72) |
SHIBAZAKI, Yuichi, JP
|
Savininkas
| (73) |
NIKON CORPORATION,
12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku Tokyo 100-8331,
JP
|
Pavadinimas
| (54) |
STAGE DRIVE METHOD AND STAGE DRIVE APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE PRODUCING METHOD |
| |
STAGE DRIVE METHOD AND STAGE DRIVE APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE PRODUCING METHOD |
