LT - Exposure apparatus, exposure method and device manufacturing method
EN - Exposure apparatus, exposure method and device manufacturing method
Teisinis statusas
Patentas neįsigaliojo (pagal EPK)
Bibliografiniai duomenys
Tarptautinės patentų klasifikacijos indeksai (TPK)
| (51) |
INT.CL. |
H01L 21/027 |
|
|
|
G03F 7/20 |
|
Europos patentas
| (11) |
Patento numeris |
2287893 |
| (13) |
Dokumento rūšis |
T |
| (96) |
Europos patento paraiškos numeris |
10186140.9 |
|
Europos patento paraiškos padavimo data |
2005-01-27 |
| (97) |
Europos patento paraiškos paskelbimo data |
2011-02-23 |
| (45) |
Paskelbimo apie Europos patento išdavimą data |
2016-04-20
|
| (46) |
Apibrėžties vertimo paskelbimo data |
|
Prioriteto paraiškos
| (30) |
Numeris |
Data |
Šalis |
|
2004025837 |
2004-02-02
|
JP |
|
2004300566 |
2004-10-14
|
JP |
Išradėjai
| (72) |
Shibazaki, Yuichi, JP
|
Savininkas
| (73) |
Nikon Corporation,
15-3, Konan 2-chome Minato-ku, Tokyo 108-6290,
JP
|
Pavadinimas
| (54) |
Exposure apparatus, exposure method and device manufacturing method |
| |
Exposure apparatus, exposure method and device manufacturing method |
