|
|
|
|
|
Teisinis statusas
Patentas neįsigaliojo (pagal EPK)
| (51) | INT.CL. | H01L 21/311 |
| (11) | Patento numeris | 2624284 |
| (13) | Dokumento rūšis | T |
| (96) | Europos patento paraiškos numeris | 13153160.0 |
| Europos patento paraiškos padavimo data | 2013-01-30 | |
| (97) | Europos patento paraiškos paskelbimo data | 2013-08-07 |
| (45) | Paskelbimo apie Europos patento išdavimą data | 2016-05-25 |
| (46) | Apibrėžties vertimo paskelbimo data |
| (30) | Numeris | Data | Šalis |
| 201261593281 P | 2012-01-31 | US | |
| 201213717272 | 2012-12-17 | US |
| (72) |
Rue, Mr. Chad, US
|
| (73) |
FEI Company,
5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, OR 97124-5793,
US
|
| (54) | Low energy ion beam etch |
| Low energy ion beam etch |