Patento informacija

EN | LT

LT - DRIVING SYSTEM AND DRIVING METHOD, LIGHT EXPOSURE DEVICE AND LIGHT EXPOSURE METHOD, AND DRIVING SYSTEM DESIGNING METHOD

EN - DRIVING SYSTEM AND DRIVING METHOD, LIGHT EXPOSURE DEVICE AND LIGHT EXPOSURE METHOD, AND DRIVING SYSTEM DESIGNING METHOD

Teisinis statusas

Patentas neįsigaliojo (pagal EPK)

Bibliografiniai duomenys

Tarptautinės patentų klasifikacijos indeksai (TPK)
(51)	INT.CL.	G03F 7/20

Europos patentas
(11)	Patento numeris	2669931
(13)	Dokumento rūšis	T
(96)	Europos patento paraiškos numeris	12739189.4
	Europos patento paraiškos padavimo data	2012-01-27
(97)	Europos patento paraiškos paskelbimo data	2013-12-04
(45)	Paskelbimo apie Europos patento išdavimą data	2020-04-15
(46)	Apibrėžties vertimo paskelbimo data

Tarptautinės paraiškos padavimo
(86)	Numeris	PCT/JP2012/000548
	Data	2012-01-27

Tarptautinės paraiškos paskelbimo
(87)	Numeris	WO 2012/102060
	Data	2012-08-02

Prioriteto paraiškos
(30)	Numeris	Data	Šalis
	2011017265	2011-01-28	JP

Išradėjai
(72)	FUJIMOTO, Hiroshi, JP SAIKI, Kazuaki, JP SAKATA, Koichi, JP

Savininkas
(73)	The University of Tokyo, 3-1, Hongo 7-chome, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8654, JP Nikon Corporation, 15-3, Konan 2-chome Minato-ku, Tokyo 108-6290, JP

Pavadinimas
(54)	DRIVING SYSTEM AND DRIVING METHOD, LIGHT EXPOSURE DEVICE AND LIGHT EXPOSURE METHOD, AND DRIVING SYSTEM DESIGNING METHOD
	DRIVING SYSTEM AND DRIVING METHOD, LIGHT EXPOSURE DEVICE AND LIGHT EXPOSURE METHOD, AND DRIVING SYSTEM DESIGNING METHOD