|
|
|
|
|
Teisinis statusas
Patentas neįsigaliojo (pagal EPK)
| (51) | INT.CL. | G03F 1/00 | |
| G03F 1/26 | |||
| G03F 1/30 | |||
| G03F 1/54 | |||
| G03F 1/46 |
| (11) | Patento numeris | 2881790 |
| (13) | Dokumento rūšis | T |
| (96) | Europos patento paraiškos numeris | 14196008.8 |
| Europos patento paraiškos padavimo data | 2014-12-03 | |
| (97) | Europos patento paraiškos paskelbimo data | 2015-06-10 |
| (45) | Paskelbimo apie Europos patento išdavimą data | 2019-06-19 |
| (46) | Apibrėžties vertimo paskelbimo data |
| (30) | Numeris | Data | Šalis |
| 2013253239 | 2013-12-06 | JP |
| (72) |
Sasamoto, Kouhei, JP
Inazuki, Yukio, JP
Fukaya, Souichi, JP
Nakagawa, Hideo, JP
Kaneko, Hideo, JP
|
| (73) |
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.,
6-1, Ohtemachi 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo,
JP
|
| (54) | Photomask blank |
| Photomask blank |