LT - HIGH-PURITY FLUORINATED HYDROCARBON, USE AS A PLASMA ETCHING GAS, AND PLASMA ETCHING METHOD
EN - HIGH-PURITY FLUORINATED HYDROCARBON, USE AS A PLASMA ETCHING GAS, AND PLASMA ETCHING METHOD
Teisinis statusas
Patentas neįsigaliojo (pagal EPK)
Bibliografiniai duomenys
Tarptautinės patentų klasifikacijos indeksai (TPK)
| (51) |
INT.CL. |
C07C 19/08 |
|
|
|
H01J 37/32 |
|
Europos patentas
| (11) |
Patento numeris |
3064483 |
| (13) |
Dokumento rūšis |
T |
| (96) |
Europos patento paraiškos numeris |
14858176.2 |
|
Europos patento paraiškos padavimo data |
2014-10-28 |
| (97) |
Europos patento paraiškos paskelbimo data |
2016-09-07 |
| (45) |
Paskelbimo apie Europos patento išdavimą data |
2019-05-01
|
| (46) |
Apibrėžties vertimo paskelbimo data |
|
Tarptautinės paraiškos padavimo
| (86) |
Numeris |
PCT/JP2014/078553 |
|
Data |
2014-10-28 |
Tarptautinės paraiškos paskelbimo
| (87) |
Numeris |
WO 2015/064550 |
|
Data |
2015-05-07 |
Prioriteto paraiškos
| (30) |
Numeris |
Data |
Šalis |
|
2013225480 |
2013-10-30
|
JP |
Išradėjai
| (72) |
SUGIMOTO, Tatsuya, JP
|
Savininkas
| (73) |
Zeon Corporation,
6-2, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku Tokyo 100-8246,
JP
|
Pavadinimas
| (54) |
HIGH-PURITY FLUORINATED HYDROCARBON, USE AS A PLASMA ETCHING GAS, AND PLASMA ETCHING METHOD |
| |
HIGH-PURITY FLUORINATED HYDROCARBON, USE AS A PLASMA ETCHING GAS, AND PLASMA ETCHING METHOD |
