|
|
|
|
|
Teisinis statusas
Patentas neįsigaliojo (pagal EPK)
| (51) | INT.CL. | C23C 14/34 | |
| H01L 21/285 | |||
| H01J 37/34 |
| (11) | Patento numeris | 3098332 |
| (13) | Dokumento rūšis | T |
| (96) | Europos patento paraiškos numeris | 15741025.9 |
| Europos patento paraiškos padavimo data | 2015-01-20 | |
| (97) | Europos patento paraiškos paskelbimo data | 2016-11-30 |
| (45) | Paskelbimo apie Europos patento išdavimą data | 2019-10-16 |
| (46) | Apibrėžties vertimo paskelbimo data |
| (86) | Numeris | PCT/JP2015/051395 |
| Data | 2015-01-20 |
| (87) | Numeris | WO 2015/111576 |
| Data | 2015-07-30 |
| (30) | Numeris | Data | Šalis |
| 2014008740 | 2014-01-21 | JP |
| (72) |
TAKIGAWA, Mikio, JP
KURODA, Toshiaki, JP
|
| (73) |
Sumitomo Chemical Company, Limited,
27-1, Shinkawa 2-chome Chuo-ku, Tokyo 104-8260,
JP
|
| (54) | SPUTTERING TARGET |
| SPUTTERING TARGET |