Herbas VPB

Spausdinti
EN | LT
LT - STRIPPING COMPOSITIONS FOR REMOVING PHOTORESISTS FROM SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
EN - STRIPPING COMPOSITIONS FOR REMOVING PHOTORESISTS FROM SEMICONDUCTOR SUBSTRATES

Teisinis statusas

Patentas neįsigaliojo (pagal EPK)

Bibliografiniai duomenys
Tarptautinės patentų klasifikacijos indeksai (TPK)
(51) INT.CL. G03F 7/42
C11D 7/26
C11D 7/32
C11D 7/50
C11D 7/10
Europos patentas
(11) Patento numeris 3249470
(13) Dokumento rūšis T
(96) Europos patento paraiškos numeris 17172498.2
Europos patento paraiškos padavimo data 2017-05-23
(97) Europos patento paraiškos paskelbimo data 2017-11-29
(45) Paskelbimo apie Europos patento išdavimą data 2019-04-03
(46) Apibrėžties vertimo paskelbimo data
Prioriteto paraiškos
(30) Numeris Data Šalis
201662340204 P 2016-05-23 US
Išradėjai
(72)
SUGISHIMA, Yasuo, US
MIZUTANI, Atsushi, BE
WOJTCZAK, William A., US
Savininkas
(73) FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc., 80 Circuit Drive, North Kingstown RI 02852, US
Pavadinimas
(54) STRIPPING COMPOSITIONS FOR REMOVING PHOTORESISTS FROM SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
  STRIPPING COMPOSITIONS FOR REMOVING PHOTORESISTS FROM SEMICONDUCTOR SUBSTRATES