|
|
|
|
|
Teisinis statusas
Patentas neįsigaliojo (pagal EPK)
| (51) | INT.CL. | H01J 37/317 | (2006.01) |
| (11) | Patento numeris | 3440690 |
| (13) | Dokumento rūšis | T |
| (96) | Europos patento paraiškos numeris | 17717106.3 |
| Europos patento paraiškos padavimo data | 2017-04-04 | |
| (97) | Europos patento paraiškos paskelbimo data | 2019-02-13 |
| (45) | Paskelbimo apie Europos patento išdavimą data | 2021-08-11 |
| (46) | Apibrėžties vertimo paskelbimo data |
| (86) | Numeris | PCT/EP2017/058018 |
| Data | 2017-04-04 |
| (87) | Numeris | WO 2017/174597 |
| Data | 2017-10-12 |
| (30) | Numeris | Data | Šalis |
| 102016106119 | 2016-04-04 | DE |
| (72) |
KRIPPENDORF, Florian , DE
CSATO, Constantin , DE
|
| (73) |
mi2-factory GmbH ,
Moritz-von-Rohr-Str. 1a, 07745 Jena,
DE
|
| (54) | ENERGIEFILTERELEMENT FÜR IONENIMPLANTATIONSANLAGEN FÜR DEN EINSATZ IN DER PRODUKTION VON WAFERN |
| ENERGY FILTER ELEMENT FOR ION IMPLANTATION SYSTEMS FOR THE USE IN THE PRODUCTION OF WAFERS |