|
|
|
|
|
Teisinis statusas
Patentas neįsigaliojo (pagal EPK)
| (51) | INT.CL. | H01L 21/311 | (2006.01) |
| G03F 7/425 | (2013.01) | ||
| G03F 7/42 | (2006.01) | ||
| H01L 21/31133 | (2013.01) |
| (11) | Patento numeris | 3537474 |
| (13) | Dokumento rūšis | T |
| (96) | Europos patento paraiškos numeris | 19161776.0 |
| Europos patento paraiškos padavimo data | 2019-03-09 | |
| (97) | Europos patento paraiškos paskelbimo data | 2019-09-11 |
| (45) | Paskelbimo apie Europos patento išdavimą data | 2023-08-02 |
| (46) | Apibrėžties vertimo paskelbimo data |
| (30) | Numeris | Data | Šalis |
| 201916286808 | 2019-02-27 | US |
| (72) |
CAO, Yuanmei , US
PHENIS, Michael T. , US
DALTON, Richard Peters , US
|
| (73) |
Versum Materials US, LLC ,
8555 S. River Parkway, Tempe, AZ 85284,
US
|
| (54) | PHOTORESIST STRIPPER |
| PHOTORESIST STRIPPER |