Herbas VPB

Spausdinti
EN | LT
LT - CLEANING FORMULATION FOR REMOVING RESIDUES ON SURFACES
EN - CLEANING FORMULATION FOR REMOVING RESIDUES ON SURFACES

Teisinis statusas

Patentas neįsigaliojo (pagal EPK)

Bibliografiniai duomenys
Tarptautinės patentų klasifikacijos indeksai (TPK)
(51) INT.CL. C11D 3/00 (2006.01)
C11D 3/0073 (2013.01)
C11D 7/32 (2006.01)
H01L 21/02063 (2013.01)
C11D 7/50 (2006.01)
H01L 21/02071 (2013.01)
C11D 11/00 (2006.01)
H01L 21/31133 (2013.01)
C23G 1/18 (2006.01)
C11D 11/0047 (2013.01)
H01L 21/02 (2006.01)
C11D 7/3281 (2013.01)
H01L 21/311 (2006.01)
C11D 7/3245 (2013.01)
C11D 7/5022 (2013.01)
C11D 7/3218 (2013.01)
C23G 1/18 (2013.01)
Europos patentas
(11) Patento numeris 3719105
(13) Dokumento rūšis T
(96) Europos patento paraiškos numeris 20162184.4
Europos patento paraiškos padavimo data 2014-12-03
(97) Europos patento paraiškos paskelbimo data 2020-10-07
(45) Paskelbimo apie Europos patento išdavimą data 2023-09-27
(46) Apibrėžties vertimo paskelbimo data
Prioriteto paraiškos
(30) Numeris Data Šalis
201361912697 P 2013-12-06 US
201461936999 P 2014-02-07 US
Išradėjai
(72)
TAKAHASHI, Tomonori , US
DU, Bing , US
WOJTCZAK, William A. , US
DORY, Thomas , US
KNEER, Emil A. , US
Savininkas
(73) Fujifilm Electronic Materials USA, Inc. , 80 Circuit Drive, North Kingstown Rhode Island 02852, US
Pavadinimas
(54) CLEANING FORMULATION FOR REMOVING RESIDUES ON SURFACES
  CLEANING FORMULATION FOR REMOVING RESIDUES ON SURFACES