LT - MEASUREMENT APPARATUS, LITHOGRAPHY APPARATUS AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD
EN - MEASUREMENT APPARATUS, LITHOGRAPHY APPARATUS AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD
Teisinis statusas
Patentas neįsigaliojo (pagal EPK)
Bibliografiniai duomenys
Tarptautinės patentų klasifikacijos indeksai (TPK)
| (51) |
INT.CL. |
G03F 7/20 |
(2006.01) |
|
|
G03F 7/70616 |
(2013.01) |
|
|
G03F 9/00 |
(2006.01) |
|
|
G03F 7/70633 |
(2013.01) |
|
|
G03F 9/7088 |
(2013.01) |
|
|
G03F 9/7092 |
(2013.01) |
|
|
G03F 9/7046 |
(2013.01) |
Europos patentas
| (11) |
Patento numeris |
4036647 |
| (13) |
Dokumento rūšis |
T |
| (96) |
Europos patento paraiškos numeris |
22150145.5 |
|
Europos patento paraiškos padavimo data |
2022-01-04 |
| (97) |
Europos patento paraiškos paskelbimo data |
2022-08-03 |
| (45) |
Paskelbimo apie Europos patento išdavimą data |
2023-11-08
|
| (46) |
Apibrėžties vertimo paskelbimo data |
|
Prioriteto paraiškos
| (30) |
Numeris |
Data |
Šalis |
|
2021013597 |
2021-01-29
|
JP |
Išradėjai
| (72) |
YAMAGUCHI, Wataru , JP
|
Savininkas
| (73) |
CANON KABUSHIKI KAISHA ,
30-2 SHIMOMARUKO 3-CHOME, OHTA-KU
Tokyo 146-8501,
JP
|
Pavadinimas
| (54) |
MEASUREMENT APPARATUS, LITHOGRAPHY APPARATUS AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD |
| |
MEASUREMENT APPARATUS, LITHOGRAPHY APPARATUS AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD |
