|
|
|
|
|
Legal status
Patent in force
| (51) | INT.CL.: (2022.01) |
H01L 21/00 |
| (11) | Number of the document | 6909 |
| (13) | Kind of document | B |
| (21) | Application number | 2020 553 |
| (22) | Date of filing the application | 2020-09-29 |
| (41) | Date of publication of the application | 2022-04-11 |
| (45) | Date of publication of patent | 2022-04-25 |
| (71) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, LT-02300 Vilnius,
LT
Institute of High Pressure Physics, Polish Academy of Sciences, Sokolowska 29/37, 01-142 Warsaw, PL |
| (72) |
Irmantas KAŠALYNAS, LT
Simonas INDRIŠIŪNAS, LT Pawel PRYSTAWKO, PL Piotr KRUSZEWSKI, PL |
| (73) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, LT-02300 Vilnius,
LT
Institute of High Pressure Physics, Polish Academy of Sciences, Sokolowska 29/37, 01-142 Warsaw, PL |
| (74) |
Virgina Adolfina DRAUGELIENĖ,
UAB TARPINĖ, A.P.Kavoliuko g. 24-152, LT-04328 Vilnius,
LT
|
| (54) | MANUFACTURING METHOD FOR RECESSED ELECTRICAL COMPONENTS |
| Payment date | Validity (years) | Amount | |
| 2025-11-06 | 6 | 208.50 EUR |
| 2026-09-29 |