|
|
|
|
|
Legal status
Patent in force
| (51) | INT.CL.: (2023.01) |
G01N 21/00 |
| (11) | Number of the document | 7003 |
| (13) | Kind of document | B |
| (21) | Application number | 2021 573 |
| (22) | Date of filing the application | 2021-12-06 |
| (41) | Date of publication of the application | 2023-06-12 |
| (45) | Date of publication of patent | 2023-07-10 |
| (71) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, 02300 Vilnius,
LT
|
| (72) |
Tadas PAULAUSKAS, LT
Arūnas KROTKUS, LT Ričardas NORKUS, LT Ignas NEVINSKAS, LT |
| (73) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, 02300 Vilnius,
LT
|
| (74) |
Virgina Adolfina DRAUGELIENĖ,
UAB TARPINĖ, A.P.Kavoliuko g. 24-152, LT-04328 Vilnius,
LT
|
| (54) | SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONIC DEVICES CHARACTERIZATION APPARATUS |
| Payment date | Validity (years) | Amount | |
| 2024-10-17 | 4 | 92.00 EUR |
| 2025-12-06 |