LT - Selektyvus metalo padengimo ant gaminio, pagaminto iš neorganinio dielektriko arba puslaidininkinės medžiagos, paviršiaus būdas
EN - METHOD FOR SELECTIVE METALLISATION OF INORGANIC DIELECTRICS OR SEMICONDUCTORS
Legal status
Patent in force
Bibliographic data
Indications of the International Patent Classification (IPC)
| (51) |
INT.CL.: (2025.01) |
C23C 18/18
|
Patent
| (11) |
Number of the document |
7117 |
| (13) |
Kind of document |
B |
| (21) |
Application number |
2023 521 |
| (22) |
Date of filing the application |
2023-06-01 |
| (41) |
Date of publication of the application |
2024-12-10 |
| (45) |
Date of publication of patent |
2025-01-27 |
Applicant
| (71) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, 02300 Vilnius,
LT
|
Inventors
| (72) |
Karolis RATAUTAS, LT
Gediminas RAČIUKAITIS, LT
Aldona JAGMINIENĖ, LT
Ina STANKEVIČIENĖ, LT
Eugenijus NORKUS, LT
|
Grantee
| (73) |
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centras,
Savanorių pr. 231, 02300 Vilnius,
LT
|
Attorney or representative
| (74) |
Virgina Adolfina DRAUGELIENĖ,
UAB TARPINĖ, A.P.Kavoliuko g. 24-152, LT-04328 Vilnius,
LT
|
Title
| (54) |
METHOD FOR SELECTIVE METALLISATION OF INORGANIC DIELECTRICS OR SEMICONDUCTORS
|
Last renewal fee
|
Payment date |
Validity (years) |
Amount |
|
2025-04-02 |
3 |
81.00
EUR
|
Next renewal fee
|
2026-06-01 |
