|
|
|
|
|
Teisinis statusas
Patentas panaikintas (nesumokėtas metų mokestis)
| (51) | INT.CL.: (2006.01) |
H01L 21/66 H01L 21/66 |
| (11) | Patento numeris | 3789 |
| (13) | Dokumento rūšis | B |
| (21) | Paraiškos numeris | 95-027 |
| (22) | Paraiškos padavimo data | 1995-03-13 |
| (41) | Paraiškos paskelbimo data | 1995-09-25 |
| (45) | Patento paskelbimo data | 1996-03-25 |
| (71) |
Vilniaus technikos universitetas,
Saulėtekio al. 11, 2054 Vilnius,
LT
|
| (72) |
Laimis LAURINAVIČIUS, LT
|
| (73) |
Vilniaus technikos universitetas,
Saulėtekio al. 11, 2054 Vilnius,
LT
|
| (74) |
| (54) | Krūvininkų koncentracijos ir judrumo puslaidininkiuose bei pusmetaliuose lokalaus nustatymo būdas |
| Mokėjimo data | Galiojimo metai | Suma | |
| 1999-03-02 | 5 | 200.00 LTL |
| Patentas panaikintas (nesumokėtas metų mokestis) | ||
| Patento panaikinimo data | 2000-03-13 |